1.儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H
2.工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H
3.安全鐘罩:聚碳酸酯
4.重量:18公斤
5.靶:60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標(biāo)準(zhǔn)靶面)
6.樣品臺(tái)直徑為60 mm,靶面距離40mm,具有傾斜裝置的旋轉(zhuǎn)臺(tái)
7.真空范圍:ATM-1x10-4 mbar
8.沉積電流范圍:0-50mA
9.沉積速率:0-25nm/分
10.濺射時(shí)間:0-4 分鐘
11.預(yù)設(shè)置針閥:控制氬
12.電源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)