上海滬東鍋爐廠有限公司

圓探針式臺階儀

　　一、自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀的功能　　通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及光學(xué)變焦相機等功能，程序設(shè)置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可支持2D或3D測量。圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。　　設(shè)備特點　　臺階高度：幾納米至1000μm　　微力恒力控制：0.03至50mg 　　樣品全直徑掃描，無需圖像拼接　　視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機　　圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差　　軟件：簡單易用的軟件界面　　生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化　　主要應(yīng)用　　臺階高度：2D和3D臺階高度　　紋理：2D和3D粗糙度和波紋度　　形狀：2D和3D翹曲和形狀　　應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力　　缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌　　工業(yè)應(yīng)用　　半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體　　LED：發(fā)光二極管　　太陽能　　MEMS：微機電系統(tǒng) 　　數(shù)據(jù)存儲　　汽車　　圓探針式臺階儀產(chǎn)品來源：　　https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html 　　http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html

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