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晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀

　　晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀設(shè)備特點(diǎn)：　　臺(tái)階高度：幾納米至1000um　　微力恒力控制：0.03mg至50mg 　　樣品全直徑掃描，無需圖像拼接　　視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī) 　　圓弧矯正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差　　生產(chǎn)能力：通過測(cè)序，模式識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化　　主要應(yīng)用：　　薄膜/厚膜臺(tái)階　　刻蝕深度測(cè)量　　光阻/光刻膠臺(tái)階　　柔性薄膜　　表面粗糙度/波紋度表征　　表面曲率和輪廓分析　　薄膜的2DStress量測(cè) 　　表面結(jié)構(gòu)分析　　表面3D輪廓成像　　缺陷表征和分析　　其他多種表面分析功能　　三、應(yīng)用案例　　臺(tái)階高度　　P-7可以提供納米級(jí)到1000μm的2D和3D臺(tái)階高度的測(cè)量。這使其能夠量化在蝕刻，濺射，SIMS，沉積，旋涂，CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-7具有恒力控制功能，無論臺(tái)階高度如何都可以動(dòng)態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測(cè)量穩(wěn)定性并且能夠測(cè)量諸如光刻膠的軟性材料。　　晶圓探針式輪廓儀產(chǎn)品來源：　　http://www.natengyiqi.com/Products-36785623.html 　　https://www.chem17.com/st125795/product_36785623.html

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