主要技術(shù)指標(biāo)：離子槍束能量：1.5KV-6KV；束直徑：350μm FWHM at 5kev；離子束電流密度：10Ma；減薄速度：硅,每小時(shí)40μm,5kv；樣品旋轉(zhuǎn)：無(wú)極可變，每分鐘1-6轉(zhuǎn)；離子束調(diào)制：?jiǎn)我换螂p面橫截面減??；真空度：5E-6Torr基本壓強(qiáng)，工作時(shí)8E-5Torrbase；凹坑儀定位精度：小于10nm；減薄厚度控制：1μm。

　　主要附件及功能：透射電鏡的制樣。

　　主要應(yīng)用領(lǐng)域：材料，地質(zhì)礦產(chǎn)

　　檢測(cè)項(xiàng)目：透射電鏡的制樣

　　儀器聯(lián)系人：褚勝林

　　聯(lián)系人電話：0731-88836663