設(shè)備具有世界最高水平的高精度，高速度，高分辨率。全面測量物體的表面形狀。采用了光柵結(jié)合激光干涉的檢出器，使機(jī)器的分辨率達(dá)到0．31nm。結(jié)合各類高精密探針（球形尖端探針半徑0.002mm、0.005mm、0.5mm等）一次測量即可得到表面粗糙度和輪廓形狀同時(shí)進(jìn)行各種分析。設(shè)備可用作測試表面粗糙度（包涵所有的粗糙度參數(shù)如Ra、Rz、Rq、Rp、Rv等）；微觀尺寸分析；非常規(guī)尺寸量測（如樣品的圓角，倒角及一般檢測設(shè)備沒法檢測的尺寸）；輪廓度比對測試（實(shí)際加工樣品與設(shè)計(jì)理論樣品的偏差分析）